Reaktivno magnetronsko raspršivanje je zrela tehnika nanošenja tankog složenog sloja na široku paletu supstrata kao gornji sloj ili kao međusloj u višeslojnom premazu. Opseg "tankih" kreće se od nekoliko nanometara do nekoliko mikrometara.
Zašto magnetron raspršuje?
Magnetronsko raspršivanje je proces sudara između upadnih čestica i meta … Magnetronsko raspršivanje povećava gustoću plazme uvođenjem magnetskog polja na površinu ciljne katode i korištenjem ograničenja magnetsko polje na nabijenim česticama za povećanje brzine raspršivanja.
Što se podrazumijeva pod reaktivnim raspršivanjem?
Reaktivno raspršivanje je proces koji omogućuje taloženje spojeva uvođenjem reaktivnog plina (obično kisika ili dušika) u plazmu koji se obično formira od inertnog plina kao što je argon (najčešći), ksenon ili kripton.
Kako radi magnetronsko raspršivanje?
Magnetronsko raspršivanje je tehnologija taloženja koja uključuje plinovitu plazmu koja se stvara i ograničava na prostor u kojem se nalazi materijal koji se taloži – 'meta'. … Ovi sudari uzrokuju elektrostatičku repulziju koja 'odbija' elektrone s atoma plina koji se raspršuje, uzrokujući ionizaciju.
Zašto RF raspršuje?
RF ili radiofrekventno raspršivanje je tehnika uključena u izmjenjivanje električnog potencijala struje u vakuumskom okruženju na radio frekvencijama kako bi se izbjeglo stvaranje naboja na određenim vrstama raspršenih ciljnih materijala, što s vremenom može rezultirati stvaranjem luka u plazmi koja izbacuje kapljice…